平行探頭阻抗測量法(Parallel Probe ResistivityMethod)
平行探頭阻抗測量法是符合EOS/ESD－S11.11－1993標準的測量方法，這是一種快速的測量平面均勻材料電阻值的方法。這種方法也適合于多層材料的測量，但是在阻抗值報告中必須注明測量時的溫度和濕度條件。 A 、將表放在待測量的物體表面。
B、將開關調到所需的電壓位置(10伏或100伏)
C、以大約5磅的壓力持續按下測量按鈕，此時LCD屏會顯示出測量的表面阻抗，溫度和相對濕度值，整個測量過程大約為十五秒種。
·表面阻抗單位為歐姆/□
·溫度單位為攝式
·相對濕度單位為百分比
在每次測量中，按下測量按鈕后，測試儀將連續顯示修整測量值，松開按鈕后約四十五秒內，顯示的是最后一個測量值。
2 、同心環探頭阻抗測量法（Concentric Ring Probe Resistivitymethod）（同心環探頭為選購件）
將連線插頭插入表的兩個 3.5毫米插孔，并將香蕉插頭與同心環探頭 (選購件)相聯。將探頭放在待測試物體表面后，按下按鈕約15秒鐘后，在液晶顯示屏上將顯示出正確的溫度和相對濕度，正確的表面阻抗值為液晶顯示屏上的讀數乘以 10，單位為歐姆/□。 例如：
晶屏上顯示為3.5×10 4 歐姆/□；實際阻抗值為3.5×10 5 歐姆/□。
二、表面電阻測量（點對點） (Surface ResistanceMeasurement （RTT）)
這個測量方法是符合EOS/ESD-S4.1測量要求來測量獨立于接地的兩點之間的電阻，用這個測量方法得出的測量結果與被測物體的處理、兩個5磅探頭之間的距離等因素有關，因此，應選擇正確的測量規程，每次在同樣要求的測量條件下進行測試。 A 、將連線插頭插入表的兩個3.5毫米插孔，并將香蕉插頭與兩個5磅重探頭相聯。
B、按照測量規程將兩個探頭放置在待測物體表面。
C、選擇所需的電壓值(10伏或100伏)
D、按下開關直到顯示出所選的電壓值(10伏或100伏)，繼續按著開關直至所測電阻（單位為歐 姆），相對濕度和溫度顯示在液晶顯示屏上 [2]